Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем /

Белов, Игорь Александрович

Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем / И.А. Белов,В.А. Шеленшкевич, Л.И. Шуб. - Ленинград : Политехника , 1991. - 287 с. ил. 148, табл. 12.

Библ. 74 назв.

5-73-25-0001-4


Машиностроение

Ուղեկցվում է Կոհա