Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии /
Глазков, Илья Михайлович.
Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии / И.М. Глазков. - Москва : "Советское радио", 1975. - 72 с. : ил., табл. - Массовая б-ка инженера "Электроника" .
Библиогр.: с. 69 - 72 (83 назв.)
Оборудование фотошаблонов и литографии
Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии / И.М. Глазков. - Москва : "Советское радио", 1975. - 72 с. : ил., табл. - Массовая б-ка инженера "Электроника" .
Библиогр.: с. 69 - 72 (83 назв.)
Оборудование фотошаблонов и литографии