Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхемах /

Пресс, Ф.П.

Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхемах / Ф.П. Пресс. - Москва : Советское радио, 1978. - 96 с. - Массовая библиотека инженера "Электроника" Вып. 18 .

Библиогр.: с. 92 - 95 (71 назв.)


Полупроводниковые приборы
Интегральные микросхемы

Ուղեկցվում է Կոհա