Технология производства интегральных микросхем :
Черняев, Владимир Николаевич
Технология производства интегральных микросхем : Учебное пособие для вузов / В.Н. Черняев ; Под ред. А.А. Васенкова. - Москва : Энергия, 1977. - 376 с. : ил.
Библиогр.: с. 364 - 366 (53 назв.); Предмет. указ.: с. 367 - 370
Интегральные микросхемы
Технология производства интегральных микросхем : Учебное пособие для вузов / В.Н. Черняев ; Под ред. А.А. Васенкова. - Москва : Энергия, 1977. - 376 с. : ил.
Библиогр.: с. 364 - 366 (53 назв.); Предмет. указ.: с. 367 - 370
Интегральные микросхемы