Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве /

Быстров, Юрий Александрович

Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве / Ю.А. Быстров, Е.А. Колгин, Б.Н. Котлецов. - Москва : Радио и связь , 1988. - 165,[2] с. : ил. ; 22 см.

ամբողջապես կամ մեկ օրացույցային տարվա ընթացքում հրատարակվող մենագրություն 1988 այլ Библиогр.: с. 162-166 (105 назв.)

5-256-00006-3 00.65


Микроэлектронные схемы интегральные - Размеры - Технический контроль

Ուղեկցվում է Կոհա