Оборудование полупроводникового производства /

Блинов, Иван Григорьевич.

Оборудование полупроводникового производства / И.Г. Блинов, Л.В. Кожитов. - Москва : Машиностроение, 1986. - 264 с. : ил.

Список лит. с. 256-258


Полупроводниковая электроника

Ուղեկցվում է Կոհա