Технологические процессы изготовления микросхем :
Чижевич, Людмила Анатольевна
Технологические процессы изготовления микросхем : Учебное пособие / Л.А. Чижевич, Е.Л. Гамаюнов ; МВ и ССО РСФСР, ДВПИ им. В.В. Куйбышева. - Владивосток : Изд-во ДВПИ, 1986. - 80 с. ил. 14, табл. 8.
Библ. 3 назв.
Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника
Технологические процессы изготовления микросхем : Учебное пособие / Л.А. Чижевич, Е.Л. Гамаюнов ; МВ и ССО РСФСР, ДВПИ им. В.В. Куйбышева. - Владивосток : Изд-во ДВПИ, 1986. - 80 с. ил. 14, табл. 8.
Библ. 3 назв.
Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника