Вакуумная техника в производстве интегральных схем /

Данилин, Борис Степанович.

Вакуумная техника в производстве интегральных схем / Б.С. Данилин ; Под общ.ред. Р.А. Нилендера. - Москва : Энергия, 1972. - 256 с. : ил.

Список лит. с. 245-254


Разрежение воздуха и газов. Вакуумная техника. Воздушные насосы. Вакуумные насосы

Ուղեկցվում է Կոհա