Ионно-активированная кристаллизация пленок /

Лютович, Абрам Срулевич

Ионно-активированная кристаллизация пленок / А.С. Лютович ; Отв. ред. М.С. Саидов ; ИЭ АН УзССР. - Ташкент : Фан , 1982. - 148 с.

1.60


Получение тонких слоев, тонких пленок

Ուղեկցվում է Կոհա