Белов, Игорь Александрович <br/><br/>
Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем / 
И.А. Белов,В.А. Шеленшкевич, Л.И. Шуб. 
 - Ленинград :  Политехника ,  1991. 
 - 287 с.  ил. 148, табл. 12. 
<br/><br/>Библ. 74 назв. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-73-25-0001-4 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Машиностроение