Николаев, Игорь Моисеевич <br/><br/>
Оборудование и технология производства полупроводниковых приборов :  Учебное пособие / 
И.М. Николаев. 
 - Москва :  Высшая школа,  1977. 
 - 269 с. :  ил., схем. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 267 (19 назв.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковые приборы