Пресс, Ф.П. <br/><br/>
Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхемах / 
Ф.П. Пресс. 
 - Москва :  Советское радио,  1978. 
 - 96 с. 
 - Массовая библиотека инженера "Электроника"  Вып. 18 .
<br/><br/>Библиогр.: с. 92 - 95 (71 назв.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковые приборы<br/>Интегральные микросхемы