Барил, Михаил Абрамович <br/><br/>
Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем / 
М.А. Барил, В.К. Самойликов. 
 - Москва :  Энергия,  1978. 
 - 112 с. :  ил. 
 - Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры  Вып. 12 .
<br/><br/>Список лит. с. 110-111 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электронное машиностроение