Быстров, Юрий Александрович <br/><br/>
Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве / 
Ю.А. Быстров, Е.А. Колгин, Б.Н. Котлецов. 
 - Москва :  Радио и связь ,  1988. 
 - 165,[2] с. :  ил. ;  22 см. 
<br/><br/> ամբողջապես կամ մեկ օրացույցային տարվա ընթացքում հրատարակվող մենագրություն 1988  այլ  Библиогр.: с. 162-166 (105 назв.) 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-256-00006-3  00.65 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектронные схемы интегральные - Размеры - Технический контроль