Черняев, Владимир Николаевич <br/><br/>
Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров :  Учебное пособие / 
В.Н. Черняев. 
 - 2-е изд., перераб. и доп. 
 - Москва :  Радио и связь,  1987. 
 - 463,[1] с. :  ил. ;  22 см. 
<br/><br/> Предм. указ.: с. 456-460 
<br/><br/>Библиогр.: с. 455 (26 назв.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микропроцессоры<br/>Микроэлектронные схемы интегральные--Производство