Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : Учебное пособие для вузов /
А.А. Сазонов и др. ; Под ред. А.А. Сазонова.
- Москва : Высшая школа , 1991.
- 333,[1] с. ил. ; 21 см.
ամբողջապես կամ մեկ օրացույցային տարվա ընթացքում հրատարակվող մենագրություն 1991 այլ Библиогр.: с. 332 (12 назв.)