Березин, Андрей Сергеевич <br/><br/>
Технология и конструирование интегральных микросхем :  Учебное пособие / 
А.С. Березин, О.Р. Мочалкина ; Под ред. И.П. Степаненко. 
 - Москва :  Радио и связь,  1983. 
 - 232 с. :  ил. 
<br/><br/>Список лит. с. 227 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника. Интегральные схемы