Готра, Зенон Юрьевич <br/><br/>
Технологические основы гибридных интегральных схем / 
З.Ю. Готра, Э.М. Мушкарден, Л.М. Смеркло ; Под ред. З.Ю. Готры. 
 - Львов :  Вища школа. Изд-во при Львов. ун-те,  1977. 
 - 168 с. :  ил. 83, табл. 27. 
<br/><br/>Список лит. с. 159-166 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электронные микроскопы и электронно-фотографирующие устройства