Чижевич, Людмила Анатольевна <br/><br/>
Технологические процессы изготовления микросхем :  Учебное пособие / 
Л.А. Чижевич, Е.Л. Гамаюнов ; МВ и ССО РСФСР, ДВПИ им. В.В. Куйбышева. 
 - Владивосток :  Изд-во ДВПИ,  1986. 
 - 80 с.  ил. 14, табл. 8. 
<br/><br/>Библ. 3 назв. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника