Сквазное автоматизированное проектирование микроэлектронной аппаратуры / 
З.Ю. Готра, В.В. Григорьев, Л.М. Смеркло, В.М. Эйдельнант. 
 - Москва :  Радио и связь,  1989. 
 - 280 с.  ил. 160, табл. 15. 
<br/><br/>Библиогр. 124 назв. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-256-00295-3 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электронные микроскопы