Угай, Яков Александрович. <br/><br/>
Введение в химию полупроводников :  Учебное пособие / 
Я.А. Угай. 
 - 2-е изд., перераб. и доп. 
 - Москва :  Высшая школа ,  1975. 
 - 302 с. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 293 - 294 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Физика
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>элементарные полупроводники травление полупроводников