Данилин, Борис Степанович. <br/><br/>
Вакуумная техника в производстве интегральных схем / 
Б.С. Данилин ; Под общ.ред. Р.А. Нилендера. 
 - Москва :  Энергия,  1972. 
 - 256 с. :  ил. 
<br/><br/>Список лит. с. 245-254 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Разрежение воздуха и газов. Вакуумная техника. Воздушные насосы. Вакуумные насосы