Эдельман, Феликс Леонидович <br/><br/>
Структура компонентов БИС / 
Ф.Л. Эдельман ; Отв. ред. К.К. Свиташев ; ИФП СО АН СССР. 
 - Новосибирск :  Наука, Сиб. отд-ние,  1980. 
 - 256 с. :  ил. 
<br/><br/>Списки лит. в конце гл. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Структура компонентов больших интегральных схем