Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы :  Сборник статей / 
Пер. с англ. под ред. В.С. Вавилова. 
 - Москва :  Мир ,  1980. 
 - 331 с. ;  20 см. 
 - Новости физики твердого тела  Вып. 10 .
<br/><br/><label>ISBN: </label> 2.80 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Взаимодействие с поверхностью твердых тел<br/>Ионы