Нано- и микросистемная техника : Ежем-есячный междисциплинарный теоретический и прикладной научно-технический журнал. - Москва : Новые технологии, 2005-. - 12 раз в год - 2005, № 1- Изд-во: 1999-2001 Машиностроение ; 2002- Новые технологии ISSN: 1813-8586 = Нано- и микросистемная техника