Микролитография : Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. / У. Моро. կողմից
Նյութի տեսակ։
Տեքստ Լեզու: Ռուսերեն
Հրատարակման մանրամասներ։ Москва : Мир , 1990
Հասանելիություն: Նյութերը մատչելի են տացքի համար: National Polytechnic University Library (11)Դասիչ։ 621.38 М-80, ... Մատչելի չէ։ National Polytechnic University Library: Դուրս տրված (1).