| 000 | 01616nam a2200205 u 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 001072812 | ||
| 005 | 20240715055514.0 | ||
| 008 | 150415s1988 r 000 0 rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aБорисов, Юрий Владимирович | |
| 245 | 1 | 0 |
_aРазработка и исследование технологических процессов плазмохимического травления полупроводниковых и диэлектрических материалов для изготовления МЭУ : _bАвтореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.13 / _cМВССО РСФСР. MATИ им. К.Э. Циолковского. |
| 260 |
_aМосква , _c1988. |
||
| 300 | _a19 с. | ||
| 502 | _aНауч. рук.` В.Н Черняев | ||
| 504 | _aСписок лит. с. 17-19 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aТехнология производства устройств радиотехники и связи |
| 655 | 7 | _aThesis | |
| 710 | 2 |
_aМинистерство высшего и среднего специального образования РСФСР _bМосковский Авиационный технологический институт им. К.Э. Циолковского |
|
| 999 |
_c102129 _d102129 |
||