| 000 | 01135nam a2200229 u 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000123695 | ||
| 005 | 20240731091235.0 | ||
| 008 | 950417s1990 ||||||||||||||||||||rus d | ||
| 020 | _a5-03-001372-5 | ||
| 020 | _a0-306-42185-2 (англ.) | ||
| 020 | _a5-03-001716-X (русск.) | ||
| 020 | _a5-03-001717-8 (русск.) | ||
| 100 | 1 | _aМоро, Уэйн | |
| 245 | 1 | 0 |
_aМикролитография : _bПринципы, методы, материалы : В 2-х ч. / _cУ. Моро. |
| 260 |
_aМосква : _bМир , _c1990. |
||
| 300 |
_a2 ч. _bил. |
||
| 505 | 0 | 0 |
_gЧ. 1 (1990, 605 с., ил., список лит. с. 595-602) : _rПер. с. англ., под ред. Р.Х. Тимерова _gЧ. 2 (1990, 632 с., ил., списки лит. в конце глав) : _rПер. с. англ. Д.Ю. Зарослова, под ред. Р.Х. Тимерова |
| 534 |
_pОригинал на англ. : _tMicrodevices / _aEditors: Julius J. Muray and Ivor Brodie - _cNew York and London : Plenum Press : 1988 |
||
| 650 | 1 | 4 | _aМикролитография |
| 999 |
_c12276 _d12276 |
||
| 041 | _arus | ||