000 01105-am-a2200241-a-4500
999 _c12335
_d12335
001 000123961
005 20240731091257.0
008 950417s1987 xxu 000 0 rus u
020 _c00.60
041 _arus
245 0 0 _aМикроэлектроника - ключевая технология :
_bСокр. пер.: с нем. /
_cА. Браун, В. Хайдель, В. Хюбнер и др. ; Науч. ред. Р. Веллер, К. Цуравски ; Пер. А.А.Федотов.
260 _aМосква:
_bЭкономика ,
_c1987.
300 _a272 с.
500 _aАвт. указаны на обороте тит. л.
534 _pОригинал на нем. :
_tSchlusseltechnologie Mikroelektronik /
_cDietz Verlag Berlin : 1985
650 1 4 _aМикроэлектроника
700 1 _aБраун, Аннелизе
700 1 _aХайдль, Вальтраут
700 1 _aВеллер, Рейнгард
_eред.
_4edt
700 1 _aЦуравски, К.
_eред.
_4edt
700 1 _aФедотов, А.А.
_eпер.
_4trl
942 _2udc