| 000 | 00959-am-a2200205-a-4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000125573 | ||
| 005 | 20240731091402.0 | ||
| 008 | 990613s1991 xxu 000 0 rus u | ||
| 020 | _a5-73-25-0001-4 | ||
| 100 | 1 | _aБелов, Игорь Александрович | |
| 245 | 1 | 0 |
_aМоделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем / _cИ.А. Белов,В.А. Шеленшкевич, Л.И. Шуб. |
| 260 |
_aЛенинград : _bПолитехника , _c1991. |
||
| 300 |
_a287 с. _bил. 148, табл. 12. |
||
| 504 | _aБибл. 74 назв. | ||
| 650 | 1 | 4 | _aМашиностроение |
| 700 | 1 |
_aШеленшкевич, Владимир Александрович _4aut |
|
| 700 | 1 |
_aШуб, Леонид Исаакович _4aut |
|
| 999 |
_c12506 _d12506 |
||
| 041 | _arus | ||