| 000 | 00828nam a2200181 u 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000324479 | ||
| 005 | 20240715052524.0 | ||
| 008 | 040406s1975 ||| r 000 0 rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aГлазков, Илья Михайлович. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aОборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии / _cИ.М. Глазков. |
| 260 |
_aМосква : _b"Советское радио", _c1975. |
||
| 300 |
_a72 с. : _bил., табл. |
||
| 440 | 0 | _aМассовая б-ка инженера "Электроника" | |
| 504 | _aБиблиогр.: с. 69 - 72 (83 назв.) | ||
| 650 | 1 | 4 | _aОборудование фотошаблонов и литографии |
| 999 |
_c26167 _d26167 |
||