000 00899nam a2200193 u 4500
001 000342383
005 20240715052603.0
008 040113s1973 ||| r 000 0 rus d
041 1 _arus
_heng
100 1 _aТопфер, М.
245 1 0 _aМикроэлектроника толстых пленок :
_bТехнология, Конструирование, применение /
_cМ. Топфер ; Пер. с англ. под ред. Т.Д. Шермергора.
260 _aМосква :
_bМир,
_c1973.
300 _a260 с. :
_bил.
504 _bБиблиогр. 4 назв.
534 _pОригинал на англ. :
_tThick - Film Microelectronics /
_aMorton L. Topfer -
_cNew York : Van Nostrand Reinhold Company : 1971
650 1 4 _aМикроэлектроника
700 1 _aШермергор, Т.Д.
_eпер
_4trl
_eред.
_4edt
999 _c27873
_d27873