| 000 | 00859nam a2200205 u 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000344071 | ||
| 005 | 20240715052607.0 | ||
| 008 | 040616s1979 ||| r 000 0 rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aФедоров, Лель Павлович | |
| 245 | 1 | 0 |
_aПроизводство полупроводниковых приборов / _cЛ.П. Федоров, В.М. Багров, Ю.Н. Тихонов ; Под ред. Л.А. Петрова. |
| 260 |
_aМосква: _bЭнергия, _c1979. |
||
| 300 |
_a432 с. _bил. |
||
| 504 | _bБиблиогр.: 54 назв. | ||
| 650 | 1 | 4 | _aПолупроводниковые приборы |
| 700 | 1 | _aБагров, Виталий Михайлович | |
| 700 | 1 | _aТихонов, Юрий Николаевич | |
| 700 | 1 |
_aПетров, Л.А. _eред. _4edt |
|
| 999 |
_c28000 _d28000 |
||