| 000 | 00928nam a2200193 u 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000384274 | ||
| 005 | 20240715052848.0 | ||
| 008 | 041118s1978 ||||||||||||||||||||rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aБарил, Михаил Абрамович | |
| 245 | 1 | 0 |
_aГазовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем / _cМ.А. Барил, В.К. Самойликов. |
| 260 |
_aМосква : _bЭнергия, _c1978. |
||
| 300 |
_a112 с. : _bил. |
||
| 440 | 0 |
_aБиблиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры _vВып. 12 |
|
| 504 | _aСписок лит. с. 110-111 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aЭлектронное машиностроение |
| 700 | 1 | _aСамойликов, Вячеслав Константинович | |
| 999 |
_c34584 _d34584 |
||