| 000 | 01125-am-a2200217-a-4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000191832 | ||
| 005 | 20240715052946.0 | ||
| 020 |
_a5-256-00006-3 _c00.65 |
||
| 100 | 1 | _aБыстров, Юрий Александрович | |
| 245 | 1 | 0 |
_aТехнологический контроль размеров в микроэлектронном производстве / _cЮ.А. Быстров, Е.А. Колгин, Б.Н. Котлецов. |
| 260 |
_aМосква : _bРадио и связь , _c1988. |
||
| 300 |
_a165,[2] с. : _bил. ; _c22 см. |
||
| 500 | _aամբողջապես կամ մեկ օրացույցային տարվա ընթացքում հրատարակվող մենագրություն 1988 | ||
| 500 | _aայլ | ||
| 500 | _aБиблиогр.: с. 162-166 (105 назв.) | ||
| 650 | 1 | 4 | _aМикроэлектронные схемы интегральные - Размеры - Технический контроль |
| 700 | 1 | _aКолгин, Евгений Алексеевич | |
| 700 | 1 | _aКотлецов, Борис Николаевич | |
| 999 |
_c36989 _d36989 |
||
| 041 | _arus | ||