| 000 | 00853nam a2200229 u 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000203801 | ||
| 005 | 20240715053020.0 | ||
| 008 | 990616s1974 ai |||||||||||||rus d | ||
| 245 | 0 | 0 |
_aФотолитография и оптика / _cИ.Н. Рубцов и др. ; Под ре��. Я.А. Федотова, Г. Поля. |
| 246 | 3 | 1 | _aFotolitografie und Optik |
| 260 |
_aБерлин ; _aМосква : _bСоветское радио : _bТехника, _c1974. |
||
| 300 |
_a392 с. : _bил., табл. |
||
| 504 | _aСписок лит. : с. 385388 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aОптика |
| 650 | 1 | 4 | _aФотолитография |
| 700 | 1 | _aШиллинг, И. | |
| 700 | 1 | _aРубцов, И.Н. | |
| 700 | 1 |
_aФедотов, Я.А. _eред. _4edt |
|
| 700 | 1 |
_aПоль, Г. _eред. _4edt |
|
| 999 |
_c38408 _d38408 |
||
| 041 | _arus | ||