000 01182nam a2200193 u 4500
001 000453188
005 20240715053424.0
008 050915s1983 ||||||||||||||||||||rus d
041 0 _arus
100 1 _aБерезин, Андрей Сергеевич
245 1 0 _aТехнология и конструирование интегральных микросхем :
_bУчебное пособие /
_cА.С. Березин, О.Р. Мочалкина ; Под ред. И.П. Степаненко.
260 _aМосква :
_bРадио и связь,
_c1983.
300 _a232 с. :
_bил.
504 _aСписок лит. с. 227
650 1 4 _aМикроэлектроника. Интегральные схемы
700 1 _aМочалкина, Ольга Романовна
700 1 _aСтепаненко, И.П.
_eред.
_4edt
999 _c48616
_d48616