| 000 | 00997nam a2200193 u 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000475682 | ||
| 005 | 20240715053607.0 | ||
| 008 | 060218s1977 ||||||||||||||||||||rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 |
_aГотра, Зенон Юрьевич _eавт. _4aut _eред. _4edt |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aТехнологические основы гибридных интегральных схем / _cЗ.Ю. Готра, Э.М. Мушкарден, Л.М. Смеркло ; Под ред. З.Ю. Готры. |
| 260 |
_aЛьвов : _bВища школа. Изд-во при Львов. ун-те, _c1977. |
||
| 300 |
_a168 с. : _bил. 83, табл. 27. |
||
| 504 | _aСписок лит. с. 159-166 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aЭлектронные микроскопы и электронно-фотографирующие устройства |
| 700 | 1 | _aМушкарден, Эдуард Михайлович | |
| 700 | 1 | _aСмеркло, Любомир Михайлович | |
| 999 |
_c52960 _d52960 |
||