| 000 | 00586nam a2200169 u 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000475709 | ||
| 005 | 20240715053608.0 | ||
| 008 | 060220s1983 ||||||||||||||||||||rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aРезвый, Ростислав Ростиславович | |
| 245 | 1 | 0 |
_aЭллипсометрия в микроэлектронике / _cР.Р. Резвый. |
| 260 |
_aМосква : _bРадио и связь, _c1983. |
||
| 300 |
_a120 с. : _bил. |
||
| 504 | _aСписок лит. с. 118-120 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aЭлектроника |
| 999 |
_c52971 _d52971 |
||