| 000 | 01522nam a2200205 u 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000476122 | ||
| 005 | 20240715053610.0 | ||
| 008 | 060221s1986 ||||||||||||||||||||rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aЧижевич, Людмила Анатольевна | |
| 245 | 1 | 0 |
_aТехнологические процессы изготовления микросхем : _bУчебное пособие / _cЛ.А. Чижевич, Е.Л. Гамаюнов ; МВ и ССО РСФСР, ДВПИ им. В.В. Куйбышева. |
| 260 |
_aВладивосток : _bИзд-во ДВПИ, _c1986. |
||
| 300 |
_a80 с. _bил. 14, табл. 8. |
||
| 504 | _aБибл. 3 назв. | ||
| 650 | 1 | 4 | _aЭлектронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника |
| 700 | 1 | _aГамаюнов, Евгений Леонидович | |
| 710 | 2 | _aМинистерство высшего и среднего специального образования РСФСР | |
| 710 | 2 | _aДальневосточный политехнический институт им. В.В. Куйбышева | |
| 999 |
_c53065 _d53065 |
||