000 00994nam a2200217 u 4500
001 000478365
005 20240715053624.0
008 060306s1989 ||||||||||||||||||||rus d
020 _a5-256-00295-3
041 0 _arus
245 0 0 _aСквазное автоматизированное проектирование микроэлектронной аппаратуры /
_cЗ.Ю. Готра, В.В. Григорьев, Л.М. Смеркло, В.М. Эйдельнант.
260 _aМосква :
_bРадио и связь,
_c1989.
300 _a280 с.
_bил. 160, табл. 15.
504 _aБиблиогр. 124 назв.
650 1 4 _aЭлектронные микроскопы
700 1 _aГотра, Зенон Юрьевич
700 1 _aГригорьев, Виталий Виктрович
700 1 _aСмеркло, Любомир Михайлович
700 1 _aЭйдельнант, Валерий Михайлович
999 _c53691
_d53691