000 01085nam a2200181 u 4500
001 000621710
005 20240715054214.0
008 081222s1982 bv |||||r||||||00|0|rus d
041 0 _arus
110 2 _aИнститут проблем материаловедения
245 1 0 _aПолучение и свойства тонких пленок :
_bСборник научных трудов /
_cОтв. ред. А.Ф. Андреева ; ИПМ АН УССР.
260 _aКиев :
_bНаукова думка,
_c1982.
300 _a132 с. :
_bил.
650 1 4 _aМатериаловедение
700 1 _aАндреев, А.Ф.
_eред.
_4edt
710 2 _aАкадемия наук Украинской ССР
999 _c69179
_d69179