000			00919nam a2200193 u 4500
001			000659070
005			20240715054308.0
008			090518s1980 r 000 0 rus d
041	0		_arus
100	1		_aЭдельман, Феликс Леонидович
245	1	0	_aСтруктура компонентов БИС / _cФ.Л. Эдельман ; Отв. ред. К.К. Свиташев ; ИФП СО АН СССР.
260			_aНовосибирск : _bНаука, Сиб. отд-ние, _c1980.
300			_a256 с. : _bил.
504			_aСписки лит. в конце гл.
650	1	4	_aСтруктура компонентов больших интегральных схем
700	1		_aСвиташев, К.К. _eред. _4edt
710	2		_aИнститут физики полупроводников Сибирского отделения АН СССР
999			_c71331 _d71331