000			02050nam a2200193 u 4500
001			000715006
005			20240715054439.0
008			100219s1978 r 000 0 rus d
041	0		_arus
110	2		_aМосковский институт электронной техники
245	1	0	_aСборник научных трудов по проблемам микроэлектроники / _cМИЭТ, МВ и ССО СССР.
260			_aМосква : _bИзд-во МИЭТ, _c1978-.
300			_aвып. : _bил.
504			_aБиблиогр. в конце ст.
505	1	0	_gВып. 30 (1976, 188 с.) : _tФизико-математическая серия / _rОтв. ред. Т.Д. Шермертор _gВып. 35 (1977, 224 с.) : _tФизико-математическая серия _rОтв. ред. Т.Д. Шермертор _gВып. 36 (1977, 107 с.) : _tЭкономика и организация производства микроэлектроника / _rОтв. ред. А.В. Проскуряков _gВып. 37 (1978, 256 с.) : _tСВЧ и измерителная техника в микроэлектронике / _rОтв. ред. Г.И. Веселов _gВып. 38 (1978, 246 с.) : _tСпецматериали для микроэлекроники / _rРед. Е.Б. Соколов _gВып. 39 (1978, 258 с.) : _tОборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники / _rОтв. ред. Е.К. Ковшиков
650	1	4	_aЭлектроника
710	2		_aМинистерство высшего и среднего специального образования СССР
999			_c75187 _d75187