| 000 | 01037-am-a2200181-a-4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000096476 | ||
| 005 | 20240731085142.0 | ||
| 008 | 950720s1980 xxu 000 0 rus u | ||
| 020 | _c2.80 | ||
| 245 | 1 | 0 |
_aИонная имплантация в полупроводники и другие материалы : _bСборник статей / _cПер. с англ. под ред. В.С. Вавилова. |
| 260 |
_aМосква : _bМир , _c1980. |
||
| 300 |
_a331 с. ; _c20 см. |
||
| 440 | 0 |
_aНовости физики твердого тела _vВып. 10 |
|
| 650 | 1 | 4 | _aВзаимодействие с поверхностью твердых тел |
| 650 | 1 | 4 | _aИоны |
| 999 |
_c8868 _d8868 |
||
| 041 | _arus | ||