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| 100 | 1 | _aBenda, Hansjochen. | |
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_aEinführung in die Grundlagen der Halbleitertechnik / _cH. Benda. |
| 250 | _a5. Aufl. | ||
| 260 |
_aBerlin : _aMünchen : _bSiemens Aktiengesellschaft, _c1978. |
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| 300 | _a64 S. | ||
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| 999 |
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