Разработка и исследование технологических процессов плазмохимического травления полупроводниковых и диэлектрических материалов для изготовления МЭУ : (Գրառման հմ. 102129)
[ դիտիր պարզ ]
000 -LEADER | |
---|---|
fixed length control field | 01616nam a2200205 u 4500 |
001 - CONTROL NUMBER | |
control field | 001072812 |
005 - DATE AND TIME OF LATEST TRANSACTION | |
control field | 20240715055514.0 |
008 - FIXED-LENGTH DATA ELEMENTS--GENERAL INFORMATION | |
fixed length control field | 150415s1988 r 000 0 rus d |
041 0# - LANGUAGE CODE | |
Language code of text/sound track or separate title | rus |
100 1# - MAIN ENTRY--PERSONAL NAME | |
Personal name | Борисов, Юрий Владимирович |
245 10 - TITLE STATEMENT | |
Title | Разработка и исследование технологических процессов плазмохимического травления полупроводниковых и диэлектрических материалов для изготовления МЭУ : |
Remainder of title | Автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.13 / |
Statement of responsibility, etc. | МВССО РСФСР. MATИ им. К.Э. Циолковского. |
260 ## - PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC. | |
Place of publication, distribution, etc. | Москва , |
Date of publication, distribution, etc. | 1988. |
300 ## - PHYSICAL DESCRIPTION | |
Extent | 19 с. |
502 ## - DISSERTATION NOTE | |
Dissertation note | Науч. рук.` В.Н Черняев |
504 ## - BIBLIOGRAPHY, ETC. NOTE | |
Bibliography, etc. note | Список лит. с. 17-19 |
650 14 - SUBJECT ADDED ENTRY--TOPICAL TERM | |
Topical term or geographic name entry element | Технология производства устройств радиотехники и связи |
655 #7 - INDEX TERM--GENRE/FORM | |
Genre/form data or focus term | Thesis |
710 2# - ADDED ENTRY--CORPORATE NAME | |
Corporate name or jurisdiction name as entry element | Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР |
Subordinate unit | Московский Авиационный технологический институт им. К.Э. Циолковского |
Damaged status | Not for loan | Home library | Current library | Full call number | Barcode | Koha item type | Public note |
---|---|---|---|---|---|---|---|
In House | National Polytechnic University Library | National Polytechnic University Library | 621.384.5(043.3) Б-82 | EU0395720 | Author's Abstracts | One Hour Loan |