Разработка и исследование технологических процессов плазмохимического травления полупроводниковых и диэлектрических материалов для изготовления МЭУ : (Գրառման հմ. 102129)

ՄԵԸՔ մանրամասներ
000 -LEADER
fixed length control field 01616nam a2200205 u 4500
001 - CONTROL NUMBER
control field 001072812
005 - DATE AND TIME OF LATEST TRANSACTION
control field 20240715055514.0
008 - FIXED-LENGTH DATA ELEMENTS--GENERAL INFORMATION
fixed length control field 150415s1988 r 000 0 rus d
041 0# - LANGUAGE CODE
Language code of text/sound track or separate title rus
100 1# - MAIN ENTRY--PERSONAL NAME
Personal name Борисов, Юрий Владимирович
245 10 - TITLE STATEMENT
Title Разработка и исследование технологических процессов плазмохимического травления полупроводниковых и диэлектрических материалов для изготовления МЭУ :
Remainder of title Автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.13 /
Statement of responsibility, etc. МВССО РСФСР. MATИ им. К.Э. Циолковского.
260 ## - PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC.
Place of publication, distribution, etc. Москва ,
Date of publication, distribution, etc. 1988.
300 ## - PHYSICAL DESCRIPTION
Extent 19 с.
502 ## - DISSERTATION NOTE
Dissertation note Науч. рук.` В.Н Черняев
504 ## - BIBLIOGRAPHY, ETC. NOTE
Bibliography, etc. note Список лит. с. 17-19
650 14 - SUBJECT ADDED ENTRY--TOPICAL TERM
Topical term or geographic name entry element Технология производства устройств радиотехники и связи
655 #7 - INDEX TERM--GENRE/FORM
Genre/form data or focus term Thesis
710 2# - ADDED ENTRY--CORPORATE NAME
Corporate name or jurisdiction name as entry element Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
Subordinate unit Московский Авиационный технологический институт им. К.Э. Циолковского
Պահումներ
Damaged status Not for loan Home library Current library Full call number Barcode Koha item type Public note
  In House National Polytechnic University Library National Polytechnic University Library 621.384.5(043.3) Б-82 EU0395720 Author's Abstracts One Hour Loan

Ուղեկցվում է Կոհա