Разработка и исследование технологических процессов плазмохимического травления полупроводниковых и диэлектрических материалов для изготовления МЭУ : Автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.13 / МВССО РСФСР. MATИ им. К.Э. Циолковского.
Նյութի տեսակ։
ՏեքստԼեզու: Ռուսերեն Հրատարակման մանրամասներ։ Москва , 1988.Նկարագրություն։ 19 сԽորագրեր։ Ժանր/Ձև։ Ատենախոսության նշում: Науч. рук.` В.Н Черняев
| Նյութի տեսակ | Ընթացիկ գրադարան | Հավաքածու | Դարակային համար | Վիճակ | Նշումներ | Վերադարձի ամսաթիվ | Շտրիխ կոդ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Author's Abstracts | National Polytechnic University Library Scientific | Dissertations Reading Room | 621.384.5(043.3) Б-82 (Դիտման դարակ(Բացվում է ներքևում)) | In House | One Hour Loan | EU0395720 |
Науч. рук.` В.Н Черняев
Список лит. с. 17-19