Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Оборудование полупроводникового производства / И.Г. Блинов, Л.В. Кожитов.

Կողմից։ Աջակցող(ներ)։ Նյութի տեսակ։ ՏեքստՏեքստԼեզու: Ռուսերեն Հրատարակման մանրամասներ։ Москва : Машиностроение, 1986.Նկարագրություն։ 264 с. : илԽորագրեր։

Ուղեկցվում է Կոհա